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音圈力的变化及测量力的恒定流程

在实验中,对时间采样,对一块凸透镜镜片进行轮廓采样,通过观察采集到的轮廓曲线的光滑程度,判定以上三种影响因素叠加导致的扫描块运行不平稳的程度,进而分析爬行性对横向扫描系统的影响。首先放置一块凸透镜在实验台上,调整实验台高度,使凸透镜的轮廓高度在测量头触针的测量范围内。然后加大采样频率,在不同的速度下采集凸透镜的轮廓,并比较不同速度下的轮廓特性。轮廓采集过程中,给东莞电机施加动态电流,当横向扫描速度设为0.1mm/s,上位机采样结果如图1所示。

图1:凸透镜轮廓的采样结果

凸透镜轮廓的采样结果

由如图1的实验结果可见,对时间进行采样后,采集的粗轮廓信号平滑光顺,没有表现出时走时停的现象,说明横向扫描为0.1mm/s低速时,没有出现爬行现象。同样在0.25mm/s、0.5mm/s、1mm/s和1.5mm/s扫描速度下,米集的粗轮廓信号仍然平滑光顺,没有出现爬行现象。由此可知,本文设计的横向扫描系统没有出现爬行现象。

 

轮廓采集比对实验 轮廓采集比对实验是通过标准的粗糙度轮廓仪与本实验系统采集的轮廓信号进行比较,初步验证横向扫描系统与控制系统的可行性,为后续实验处理提供前期的实验数据,并不对采集的信号做进一步的处理。 粗糙度轮廓仪为比对仪器,对同一个样件在同一位置进行数据采集,对采集到的轮廓进行比对实验。在样件的选择上,考虑到标准的量块轮廓比较单一,效果不明显,最终实验的样件选择www.qg999.com,钱柜娱乐,钱柜娱乐999加工的Fresnel光学镜片,轮廓变化明显,最终的实验结果如图2所示。

图2:轮廓采集比对实验结果

轮廓采集比对实验结果

测试轮廓的位移分辨率为0.6973pm,该值对应于采样系统借用的用于触针恒力控制的光栅角度传感器的位移分辨率,0.6973pm位移分辨率不代表最终研发仪器的位移分辨率水平。因为测量头内的PGI高精度位移传感器仍然处于研发阶段,后续会使用PGI高精度位移传感器替换现有的角度传感器。联调实验仅对测量系统能否正常采集轮廓进行验证,并不提供滤波后具体的粗糙度或轮廓度参数值,所以此对实验不涉及轮廓度或粗糙度参数值的比对。

 

需要说明的是,仪器扫描测量时,轮廓位移的采样应以横向光栅尺的位移信号作为X轴坐标。本论文采用了对时间采样的技术方案,理由是在电机匀速拖动测量头的特定条件下,可以把对位移的采样简化成对时间的采样,待横向扫描系统横向光栅尺安装调试完成后,软件将以光栅尺的位移信号作为X轴坐标采样轮廓信号。